實(shí)驗(yàn)室氣路的布線

1．氣瓶間內(nèi)壓力調(diào)節(jié)面板與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的氣路終端之間選用SS316LBA管進(jìn)行連接，管道內(nèi)表面光潔度為Ra<0.4umBA級(jí)管道。

2．4N氮?dú)庵鞴芫€采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa壓力下流量可達(dá)8M3/小時(shí)，完全滿足常規(guī)用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來(lái)對(duì)設(shè)備進(jìn)行供氣。

3．5N氮?dú)?、氦氣、預(yù)留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來(lái)對(duì)設(shè)備進(jìn)行供氣。

4．管道穿過(guò)障礙物時(shí)須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

5．管道之間采用最先進(jìn)的美國(guó)全自動(dòng)定位軌道式氬弧焊機(jī)進(jìn)行內(nèi)外保護(hù)氬弧焊（TIG）方式連接，其優(yōu)點(diǎn)是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會(huì)再內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

6．管路上的三通全部采用焊接三通來(lái)實(shí)現(xiàn)連接，可更有效保證氣體的傳輸質(zhì)量。

7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu)美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。

8．氣體管路在鋪設(shè)過(guò)程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應(yīng)設(shè)置一組管卡。卡具應(yīng)由不燃材料制作而成，美觀大方。

9．應(yīng)盡量減少?gòu)澢苑乐贡粋鬏數(shù)臍怏w壓力、流量損失過(guò)大。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)有安全加固，設(shè)計(jì)合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質(zhì)量由專用工具保證。系統(tǒng)布線應(yīng)盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

10．配管時(shí)的每根管道每個(gè)管件均要用高壓的5N高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃才能接入系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)安裝完畢后還要用5N的高純氮進(jìn)行大流量氣體吹掃，以確保系統(tǒng)的潔凈度即流出的氣體無(wú)油脂及明顯的固體顆粒物流出。

11．系統(tǒng)安裝完畢后要用高純氮?dú)膺M(jìn)行高壓部分、低壓部分氣密性實(shí)驗(yàn)，對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。

12．壓力調(diào)節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號(hào)、氣體種類、濃度等標(biāo)識(shí)。